8921SC13型(xing)美國bird油電(dian)射頻終止載(zai)荷(he)為(wei)了(le)最(zui)大(da)限度地提(ti)高(gao)工(gong)藝的重復性(xing)和壹(yi)致性(xing),現(xian)代(dai)等離(li)子(zi)體應(ying)用(yong)需(xu)要(yao)精確的射頻功(gong)率調節和(he)控(kong)制。射頻發(fa)生器的(de)校(xiao)準(zhun)、調(tiao)節和(he)監(jian)控(kong)是確保射頻電(dian)源(yuan)準(zhun)確、可重復地向腔室輸(shu)送射頻電(dian)源(yuan)的關鍵(jian)組(zu)成部(bu)分。

   當(dang)使用(yong)像(xiang)BAN4020系列(lie)這(zhe)樣(yang)的精(jing)密功(gong)率傳(chuan)感器(qi)時,VSWR目前(qian)提(ti)供(gong)超穩定(ding)、低(di)VSWR負載,用(yong)於(yu)快(kuai)速(su)和精確地測量(liang)發(fa)電(dian)機輸(shu)出(chu)功(gong)率。8921SC13不(bu)僅(jin)提(ti)供(gong)低(di)VSWR,而且(qie)在(zai)過程(cheng)臨界(jie)頻率下,VSWR的總(zong)變化(hua)小(xiao)於(yu)0.1分貝(bei)。由(you)於(yu)校(xiao)準(zhun)時(shi)間(jian)不(bu)同(tong),沒(mei)有必要(yao)進行負載(zai)熱(re)身(shen)或重復性(xing)風險(xian)。這可以最(zui)小(xiao)化(hua)與(yu)此(ci)校(xiao)準(zhun)相關的(de)錯誤,並控(kong)制更關鍵(jian)的(de)過程(cheng)變量(liang)之(zhi)壹(yi)。

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